記者李喬智／台北報導
國立臺北科技大學攜手益昇系統科技、華景電通，成立「北科大半導體廠務暨製程設備研發中心」，今（13）日由北科大副校長楊重光、益昇系統科技總經理張振光、華景電通總經理古震維共同揭牌，將整合三方研發能量，聚焦先進半導體製程中廠務及設備相關研發成果與專利技轉，強化人才培育並促進技術研發。
北科大副校長楊重光表示，北科大具備世界級半導體業的開放式研究環境，相關產學合作計畫金額達上千萬元，半導體創新技術研發成果豐碩。去年也與陽明交大簽訂學術合作協議，以北科大專精的機械、材料等製程及設備技術，結合陽明交大與半導體業界的聯合開發經驗，共同提升雙方的研究創新能力。期待本校攜手益昇系統科技、華景電通，透過本中心的設備與研發能量，輔佐技術升級發展，促進產業群聚效應。
本中心主任為北科大能源與冷凍空調工程系特聘教授胡石政，研究專長涵蓋半導體製造設備及環境，包括潔淨室空調及空氣品質、微粒過濾、化學微汙染控制、廠房節能、晶圓及光罩模組等自動化運輸設備的汙染控制等；合作教授為北科大能源與冷凍空調工程系教授施陽正，研究專長包括氣流模擬分析在冷凍空調的應用、計算流體力學的工程應用、熱舒適度與熱流應用研究、能源科技等相關技術。
華景電通主要產品為「晶圓製程氣態汙染物（AMC）防治設備」，用於半導體高階製程環境控制及高潔淨度要求的解決方案。在製程中，環境的AMC會影響晶圓的良率，隨著晶圓線徑越小，AMC對良率影響越大。晶圓於載具輸送時的環境條件控制及潔淨化極為關鍵，潔淨的環境能有效提高晶圓良率，降低AMC對晶圓產生的危害，提高生產效率。
益昇系統科技主要業務為大型空調系統、醫用無菌室、電子業高科技無塵室及相關機電、製程管線的規劃、設計及建造，尤以節能為特長，最佳化設計高效能低成本的空調系統。
